做化學水浴沉積薄膜用什么樣的恒溫磁力攪拌器好
何謂薄膜沉積
在機械產業、電子產業或半導體產業領域,為了對所使用的材料賦與某種特性在材料表面上以各種方法形成被膜(一層薄膜),而加以使用,假如此被膜經過原子層的過程所形成時,一般將此等薄膜沉積稱為蒸鍍(蒸著)處理。采用蒸鍍處理時,以原子或分子的層次控制蒸鍍粒子使其形成被膜,因此可以得到以熱平衡狀態無法得到的具有特殊構造及功能的被膜。
薄膜沉積是目前zui流行的表面處理法之一,可應用于裝飾品、餐具、刀具、工具、模具、半導體組件等之表面處理,泛指在各種金屬材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圓基板的表面上,成長一層同質或異質材料薄膜的制程,以期獲得美觀耐磨、耐熱、耐蝕等特性。
薄膜沈積依據沉積過程中,是否含有化學反應的機制,可以區分為物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition,簡稱PVD)通常稱為物理蒸鍍及化學氣相沉積(Chemical Vapor Deposition,簡稱CVD)通常稱為化學蒸鍍。
隨著沉積技術及沉積參數差異,所沈積薄膜的結構可能是『單晶』、『多晶』、或『非結晶』的結構。單晶薄膜的沉積在集成電路制程中特別重要,稱為是『磊晶』(epitaxy)。相較于晶圓基板,磊晶成長的半導體薄膜的優點主要有:可以在沉積過程中直接摻雜施體或受體,因此可以控制薄膜中的『摻質分布』(dopant profile),而且不包含氧與碳等雜質。
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